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大下 慶次郎
オオシモ ケイジロウ OHSHIMO Keijiro 所 属 札幌校 職 名 准教授 |
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| 言語種別 | 英語 |
| 発行・発表の年月 | 2020/03/05 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | Time-of-flight mass spectrometric diagnostics for ionized and neutral species in high-power pulsed magnetron sputtering of titanium |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | Japanese Journal of Applied Physics |
| 掲載区分 | 国外 |
| 出版社・発行元 | IOP Publishing |
| 巻・号・頁 | 59(SH),pp.SHHB05 |
| 著者・共著者 | Keizo Tsukamoto, Tetsuro Tamura, Hiromi Matsusaki, Masahide Tona, Hiroaki Yamamoto, Yuki Nakagomi, Hiroshi Nishida, Yoshihiro Hirai, Nobuo Nishimiya, Masaomi Sanekata, Keijiro Ohshimo, Kiichirou Koyasu, Fuminori Misaizu |
| DOI | 10.35848/1347-4065/ab71de |
| ISSN | 00214922 |
| NAID | 1361694594275690752 |