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大下 慶次郎
オオシモ ケイジロウ OHSHIMO Keijiro 所 属 札幌校 職 名 准教授 |
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| 言語種別 | 英語 |
| 発行・発表の年月 | 2021/04/21 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | Delayed Discharge Bridging Two Sputtering Modes from Modulated Pulsed Power Magnetron Sputtering (MPPMS) to Deep Oscillation Magnetron Sputtering (DOMS) |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | Plasma |
| 掲載区分 | 国外 |
| 出版社・発行元 | MDPI AG |
| 巻・号・頁 | 4(2),pp.239-251 |
| 著者・共著者 | Masaomi Sanekata, Hiroshi Nishida, Tatsuya Watabe, Yuki Nakagomi, Yoshihiro Hirai, Nobuo Nishimiya, Masahide Tona, Hiroaki Yamamoto, Naoyuki Hirata, Keizo Tsukamoto, Keijiro Ohshimo, Fuminori Misaizu, Kiyokazu Fuke |
| DOI | 10.3390/plasma4020016 |
| NAID | 1360857593805107840 |