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大下 慶次郎
オオシモ ケイジロウ OHSHIMO Keijiro 所 属 札幌校 職 名 准教授 |
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| 言語種別 | 英語 |
| 発行・発表の年月 | 2022/06/22 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | Time-of-flight mass spectrometry diagnostics in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | Journal of Applied Physics |
| 掲載区分 | 国外 |
| 出版社・発行元 | AIP Publishing |
| 巻・号・頁 | 131(24),pp.243301 |
| 総ページ数 | 7 |
| 著者・共著者 | Masaomi Sanekata, Yuki Nakagomi, Mutsuki Hirayama, Hiroshi Nishida, Nobuo Nishimiya, Masahide Tona, Hiroaki Yamamoto, Keizo Tsukamoto, Kiyokazu Fuke, Keijiro Ohshimo, Kiichirou Koyasu, Fuminori Misaizu |
| DOI | 10.1063/5.0089592 |
| ISSN | 00218979 |
| NAID | 1360580232414512640 |