大下 慶次郎
  オオシモ ケイジロウ   OHSHIMO Keijiro
   所  属   札幌校
   職  名   准教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2023/05/15
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Optical emission spectroscopy in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium
執筆形態 共著
掲載誌名 Japanese Journal of Applied Physics
掲載区分国外
出版社・発行元 IOP Publishing
巻・号・頁 62(SL),pp.SL1008
著者・共著者 Eisuke Yokoyama, Masaomi Sanekata, Nobuo Nishimiya, Masahide Tona, Hiroaki Yamamoto, Keizo Tsukamoto, Kiyokazu Fuke, Keijiro Ohshimo, Fuminori Misaizu
DOI 10.35848/1347-4065/acce42
ISSN 00214922
NAID 1360017279871324288