大下 慶次郎
オオシモ ケイジロウ OHSHIMO Keijiro 所 属 札幌校 職 名 准教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 2023/05/15 |
形態種別 | 学術雑誌 |
査読 | 査読あり |
標題 | Optical emission spectroscopy in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Japanese Journal of Applied Physics |
掲載区分 | 国外 |
出版社・発行元 | IOP Publishing |
巻・号・頁 | 62(SL),pp.SL1008 |
著者・共著者 | Eisuke Yokoyama, Masaomi Sanekata, Nobuo Nishimiya, Masahide Tona, Hiroaki Yamamoto, Keizo Tsukamoto, Kiyokazu Fuke, Keijiro Ohshimo, Fuminori Misaizu |
DOI | 10.35848/1347-4065/acce42 |
ISSN | 00214922 |
NAID | 1360017279871324288 |